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平板镀膜耐候性问题简析

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2016-10-19     浏览次数:    

  与国外95%以上吸收率和5%以下发射率相比,虽然国内很多公司号称吸收率可以做到93%发射率可以做到7%以下,但是从我与一些企业合作过程中发现,这些性能仅限于他们的最高指标,且镀膜过程稳定性不好。究其原因,我想从设备和工艺两方面谈谈对光学性能的影响,另外简单探讨下耐候性问题。

  平板镀膜,其膜层结构是一种多层膜结构,基底上依次镀上金属膜、金属-陶瓷吸收膜和减反射膜。金属镀膜非常容易,而镀金属陶瓷吸收膜和减反射膜,对设备和工艺都有特定的要求。以平板为例,目前市场上存在两种产品:蓝钛(TiON)和黑镍、铬(CrNiON)。个人认为蓝钛产品耐候性会更好点,这与材料有关,因为CrO热稳定性相对比较差。对于这些氮氧化物的镀膜,往往是通入Ar/O/N三种气体,其中Ar起到溅射出粒子的作用,而N/O气体起到与溅射出来的粒子反应作用,生成需要的氮氧化物吸收层。对于蓝钛镀膜来说,这种靶材比较容易中毒,使得沉积工艺不稳定。这与腔体内部通入气体和抽出气体有关,如果气氛不均匀、不稳定,那无法保证整个平板镀膜均匀性,另外工艺上很多厂家对气氛输入的大小和比例,也没有进行充分的优化,使得膜层性能相对较低。一般来讲膜层在确定材料之后,与膜层的厚度和化学元素比例有关。
  耐候性也是产品一个非常重要的性能,使用时间越长、衰减越小,产品的性价比越高。国内很多企业需要认识到清洗的重要性,成分清洁的表面是成膜牢固的充分但不必要条件。板块清洗好了之后,在进入镀膜腔体也需要保证不会被污染。镀膜之后的处理也很重要,可能很多厂家在镀膜之后,板块往往就开始进行后道工艺处理,实际上镀膜之后的热处理非常有必要,当然对于不同板材和镀膜材料来说,热处理温度不尽相同。
  现在对于平板需求,市场空间很大,但是我们希望企业做出来的产品性能优越,至少在寿命上能达到数十年,否则对于整个行业的发展也是不利的。
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